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Universal Pulsgeneratoren

RUP6

Der RUP6 besteht, je nach Ausführung, aus vielen in Kaskade geschalteten 1kV-IGBT-Halbbrücken-Pulsmodulen, die parallel geladen und für den Puls in Reihe geschaltet werden. Dadurch wird nur ein 1kV-Primärnetzteil gebraucht. Spannungsversorgung und Modulator sind bei diesem Prinzip untrennbar ineinander integriert. Die Pulsbreite ist in sehr weiten Grenzen frei wählbar und ist nur durch die gespeicherte Energie begrenzt.

RUP6-1c

RUP6-25

RUP6-6d

Die herausragenden Eigenschaften der RUP6 Serie sind:

Echter Rechteckpuls mit aktivem Abschalten
Pulslänge fast völlig frei einstellbar
Hoher Wirkungsgrad
Individuelle Skalierbarkeit der Spannung
Schnelle Arc-Abschaltung.
Ausgangsdrossel zur Strombegrenzung und zur Minimierung von Schaltverlusten
Mehrstufiges Einschalten zur Überschwinger-Minimierung

Allgemeine Technische Daten:

Modelle mit Hochspannungen von -1kV bis -35kV
60A Pulsstrom mit Standardpulsmodul
3A mittlerer Effektivstrom
Typische Anstiegs-Zeit 200ns -450ns (je nach Ausführung)
2.5kW Ausgangsleistung (Standardausführung)
Frequenzen bis zu 3kHz, in einigen Fällen sind bis zu 5kHz möglich

Spezial Varianten:

Bipolare Ausführung
Integrierte, einstellbare Bias-Spannung 0 bis -200V
Im weiten Bereich einstellbare Anstiegszeit, speziell für kapazitive Lasten
Stromrückführungseingang, speziell für induktive Lasten
200A Pulsstrom mit Hochstrommodul
6kW und 12kW Ausgangsleistung mit Spezial-Netzteil und Drehstromversorgung

Anwendungen

Dual Hochspannungs-Magnetronsputtern
Plasmaimmersionsanwendungen
Flüssigkeitssterilisierung
Isolationstests an kapazitiven und induktiven Lasten

Downloads RUP6 Serie

PDF Generelles Datenblatt RUP6 deutsch

PDF RUP6 Bipolar (RUP6-25bibv6 englisch

PDF RUP6 Dual (RUP6-3x2) deutsch

PDF RUP6 kapazitive und induktive Lasten, 200A (RUP6-10CL) deutsch

Weitere Varianten finden Sie im Downloadbereich >>

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Referenzen der GBS Elektronik GmbH

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